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LITH-1200PECVDMOQ :
1Compliance:
CEWarranty:
2 yearsDelivery Time:
5 days電子メール :
Louis@lithmachine.com1200℃pe / cvd炉、rf発生器およびガスミックスおよびポンプシステム
リト - 1200スペック 化学気相成長法（cvd）とプラズマ化学気相成長法（pecvd）のマルチゾーンスプリットチューブ炉 カンタル ＆reg; 高品質に埋め込まれた（スウェーデン）ワイヤー発熱体 三菱 ＆reg; （日本）アルミナ繊維断熱材。すべてのスチール製2層ハウジングは耐久性を保証し、外面への熱損失を最小限に抑えます。
炉操作はによって制御されます シマデン ＆reg; rs485デジタル通信ポートとusbアダプタを内蔵した40セグメントのデジタルコントローラ。ユーザーがPCに接続して炉の遠隔操作と監視を行うことができます。テスト結果を保存またはエクスポートすることもできます。
当社のすべての炉はceに準拠しています。
特徴
1 コンパクト、ポータブル、軽量設計。
2 従来のcvdsと比較して、必要な処理温度が低くなります。
3 膜応力は、高／低周波数混合技術によって制御することができる。
4 迅速かつ容易なチューブアクセスのための分割炉室
5 標準的なパッケージは弁および圧力計が付いている一組のステンレス鋼の真空シーリングフランジを含んでいます。
6 マイクロプロセッサベースの自己調整PID制御は、最小限のオーバーシュートで最適な熱プロセスを提供します。
7 単一サイクルでの複数雰囲気プロセスが可能である（例：バインダーが空気中で焼失し、部品が粗い真空または不活性ガス環境下で焼結する）
8 容易なモニタリングとトラブルシューティングのための内蔵のアンペアメーターとデュアルボルメーター。
9 内蔵のコンピュータインタフェース。
10年 長寿命タイプk熱電対。
11 スライド式炉オプションにより、超高速冷却速度を実現
安全性
1 温度が許容範囲外の場合（コントローラのマニュアルを参照）、または熱電対が破損しているか誤動作している場合、過熱保護機能によって炉がシャットダウンされます。
2 停電保護は、電力が回復すると、故障点の直後に炉の運転を再開します。
警告！水素、一酸化炭素、メタンなどの爆発性ガスを炉に絶対に充填しないでください。
炉、真空ポンプ、ガス混合システムの仕様
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チューブ素材 |
石英 |
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発熱体 |
カンタル ＆reg; （スウェーデン）抵抗コイル線 |
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最大vs一定作動温度 |
最大1200°Cと1100℃の定数 |
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サーモカップルタイプ |
k |
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耐火ライニング |
三菱 ＆reg; 1500級繊維アルミナ |
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温度調節器 |
シマデン ＆reg; （日本）fp93 4プログラム40セグメント |
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最大暖房冷却速度 |
＆lt; 30℃/分 |
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温度コントローラーの精密 |
+/- 1°C（+/- 1.8°f） |
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真空シールフランジキット |
1つの真空計が付いているステンレス鋼の真空シールのフランジ、 |
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電気的要件 |
208-240vac、50 / 60Hz、単相 |
rfジェネレータ仕様
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電気的要件 |
208〜240ボルト50/60 Hz |
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出力パワー |
5〜500ワット、+/- 1％ステップで調整可能 |
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無線周波数 |
+/- 0.005％の安定性を備えた13 MHz |
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反射力 |
最大200ワット |
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マッチング |
自動 |
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RF出力ポート |
50Ω、n型、メス |
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冷却 |
空気 |
標準パッケージ
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部品の説明
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量
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部品画像
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分割管炉 |
1セット |
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多チャンネルガス供給システム |
1セット |
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プラズマRF電源（オプション） |
1セット |
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真空ポンプとエンクロージャ（オプション） |
1セット |
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石英管 |
1個 |
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アナログ流量計 |
1個 |
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ステンレス鋼製真空シールフランジ（圧力計付き） |
1セット |
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ステンレス鋼フック |
1個 |
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アルミナセラミックサーマルブロック |
2ペア |
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サーマルグローブ |
1ペア |
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スペアヒューズ |
2個 |
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usb / rs485コンピューターインターフェースキット |
1セット |
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1標準輸出パッケージ：内部衝突防止保護、外部輸出木製ボックス包装。
最も適切な方法を見つけるために顧客の要求に応じて海によって、速達による2出荷。
輸送過程の間の損害に対して責任がある3は、無料であなたのために損害を受けた部分を変えます。
納期 ： 順序を確認した後15-20日、細部配達日はに従って決定されるべきです
製造シーズンと発注数量
Louis@lithmachine.com
+0086 15959378975
