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500cのヒーターが付いている3つの回転式ターゲット血しょうスパッタコータのコータ

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  • Contact Person : Louis Yang
  • 電子メール : Louis@lithmachine.com
  • アドレス : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
500cのヒーターが付いている3つの回転式ターゲット血しょうスパッタコータのコータ

500cのヒーターが付いている3つの回転式ターゲット血しょうスパッタコータのコータ

  • :

    VTC-16-3HD-LD

  • MOQ :

    1

  • Compliance:

    CE Certified

  • Warranty:

    1 year

  • Delivery Time:

    5 days

  • 電子メール :

    Louis@lithmachine.com

500cのヒーターが付いている3つの回転式ターゲット血しょうスパッタコータのコータ



vtc-16-3hd-ldは、タッチスクリーンデジタルコントローラ、および最高500℃まで加熱可能な基板ヒーターを備えた、ce認定のコンパクト3回転ターゲットプラズマスパッタリングコーターです。それは直径50 mmまでのサンプルに1〜3種類の金属材料をコーティングすることができます。金、銀、銅の3種類のスパッタリングターゲットがすぐに使用できます。 （ 2015年8月21日更新：シールドを追加/ポンプなし ）

仕様：

入力電源

  • 単相220 Vac、50 / 60hz
  • 700ワット（真空ポンプ含む）
  • 110バキュームを使用するための、私たちはあなたのための変圧器が含まれます。製品オプションで電圧を選択してください

出力パワー

  • 1600 VDC
  • 最大40 ma

真空室

  • 真空チャンバー：内径150 mm×外径165 mm×高さ150 mm、高純度石英製
  • 平らなOリングが付いているステンレス鋼から成っているシーリングフランジ

ヒーター付試料台

  • ステージサイズ：直径50 mm
  • スパッタリング距離範囲：25 - 40 mm調整可能
  • 3つのスパッタリング位置を備えた回転ステージ（タッチスクリーンで制御）
  • 基板ヒーター 最高加熱温度500℃で内蔵されています
  • +/- 1℃の精度を持つpid温度コントローラがタッチスクリーンに統合されています

コントロールパネル

  • 操作が簡単なPLC統合を備えた6インチカラータッチスクリーン
  • 真空計、スパッタリング電流計、および基板温度制御がタッチスクリーンパネルに統合されています
  • 前面パネルのガス取り入れおよびスパッタリング電流制御用の調整ノブ
  • スパッタリング位置、スパッタリングタイマー、プロセスロギングはタッチスクリーンからアクセス可能

シールド

  • ステンレス鋼 シールドケージ 追加の保護のために含まれています

スパッタリングターゲット

  • 目標サイズの要件：直径47 mm。最大2.5 mm
  • すぐに使用できるように、標準パッケージには3つのターゲットが含まれています。
    • auターゲット 、直径47 mm。 ×0.12 mm
    • agターゲット 、直径47 mm。 ×0.5 mm
    • cuターゲット 、直径47 mm。 ×2.5 mm
  • さまざまなターゲット tmaxでご注文いただけます

真空ポンプ
（オプション）




  • 真空ポンプに接続するための内蔵kf25真空ポート。
  • kf25コネクタ付き真空ポンプが必要ですが、含まれていません。ユーザーが選択できます
    • ある ダブルステージメカニカルバキュームポンプ 1.0e-2トルまでの真空用。
    • または ターボポンプ 1.0e-5トルまでの真空用
  • 真空ポンプは自動制御のためのコーターの左側にあるコンセントに差し込むことができます

寸法

  • 440 mm l×330 mm w×455 mm h

正味重量

  • 50キロ

コンプライアンス

  • ce承認
  • 合格証明書（ul 1450）はリクエストに応じて追加料金で利用できます、見積もりについては弊社の営業担当者にお問い合わせください。

保証

  • 生涯サポート付き1年間

アプリケーションノート

  • 最良のフィルム - 基板接着強度のために、コーティングの前に基板表面をきれいにしてください：
    • オイルとグリースを除去するために、（1）アセトン、（2）イソプロピルアルコールの順次浴で超音波洗浄。 n2で基板をブロードライしてから、真空中でホットベイクして、吸収した水分を取り除きます。
    • 粗面化、表面化学結合の活性化、または追加の汚染除去にはプラズマクリーニングが必要になる場合があります。
    • cr、ti、mo、taなどの薄いバッファ層（〜5 nm）を適用して、金属や合金の密着性を向上させることができます。
  • 安全に使用するには、ガスシリンダーに2段階の圧力調整装置（別売）を取り付けてガスの出力圧力を0.02 mpa以下に制限する必要があります。 ＆gt;を使用してください。プラズマスパッタリング用5n純度arガス
  • スパッタリングコーターは、コーティングのためにArおよびN2ガスグローブボックスに入れることができます。
  • 高電圧！スパッタリングヘッドは高電圧に接続します。安全のために、オペレータはサンプルローディングとターゲット交換操作の前に装置をシャットダウンしなければなりません
  • このモデルは、エネルギーが低いため、al、mg、zn、niなどの軽金属材料のコーティングには適していません。当社のマグネトロンスパッタリングコーターまたは熱蒸着コーターをご検討ください。詳細は下の写真をクリック




Plasma Sputtering Coater









パッケージ：

1標準輸出パッケージ：内部衝突防止保護、外部輸出木製ボックス包装。

最も適切な方法を見つけるために顧客の要求に応じて海によって、速達による2出荷。

輸送過程の間の損害に対して責任がある3は、無料であなたのために損害を受けた部分を変えます。

納期 ： 順序を確認した後15-20日、細部配達日はに従って決定されるべきです

製造シーズンと発注数量





ホットタグ : プラズマスパッタリングコーター プラズマスパッタリングコーティング機 3回転式ターゲット

CSS炉

回転および加熱と冷却の2つのゾーンを備えた最高800℃のCSS炉

マグネトロンスパッタリングコーティング

非金属薄膜用小型2インチ高周波プラズママグネトロンスパッタリングコーティング装置

マグネトロンスパッタリング装置

デュアル2インチターゲット源を備えた小型マグネトロンスパッタリングシステムコーター

プラズマスパッタリングコーター

3つの2インチマグネトロンスパッタリング源を有する実験室用コンビナトリアルプラズマスパッタリングコーティングコーター機

マグネトロンスパッタリングコーター

導電性金フィルムをコーティングするために設計されたdcマグネトロンスパッタリングコーター機

真空熱蒸発コーター

温度制御が付いている真空の熱蒸発のコーティングのコーター機械

プラズマスパッタ

1つのプラズマスパッタ炭素蒸発コーティング機でコンパクトな2つ

マグネトロンスパッタリングコーター

plc統合を備えた小型dcマグネトロンスパッタリングコータコーティング機

CSS炉

回転および加熱と冷却の2つのゾーンを備えた最高800℃のCSS炉

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非金属薄膜用小型2インチ高周波プラズママグネトロンスパッタリングコーティング装置

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デュアル2インチターゲット源を備えた小型マグネトロンスパッタリングシステムコーター

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1つのプラズマスパッタ炭素蒸発コーティング機でコンパクトな2つ

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