ラボ用のDCマグネトロンスパッタリングと振動ステージを備えたコンパクトな粉体PVDコーティング機

:
VTC-16-PW
MOQ :
1
Compliance:
CE Certified
Warranty:
1 year
Delivery Time:
5 days
電子メール :
Louis@lithmachine.com

DCマグネトロンスパッタリングおよびラボ用振動ステージ

vtc-16--pwはコンパクトパウダーPVDコーター 2インチの水冷マグネトロンスパッタリングヘッドと振動ステージで構成されます。粒子はコーティング中に振動ステージでジャンプしてコアシェル構造を形成します。DCマグネトロンスパッタは金属材料のコーティングに適しています。RF電源はオプションです非導電性材料またはカーボンの場合、コーターは3D印刷用の特別な粉末および固体電解質粉末の調製に役立ちます。

仕様書

入力電圧	220 vac 50 / 60hz 110 vの電力は、 1000 wトランス（15 aヒューズ）。トランスは別売りです
出力電力	1600 VDC 250ワット最大150 ma 過電流保護を内蔵（＆gt; 150 ma）
スパッタリングヘッド	水冷ジャケット付きの2インチフレキシブルマグネトロンスパッタリングヘッドが付属ターゲット保護用の手動操作式シャッター非動作中にスパッタリングヘッドを保持するためのスパッタリングヘッドホルダーが利用可能スパッタリングヘッドとサンプルステージ間の距離は60〜100 mmの範囲で調整可能 1 水冷再循環水チラー16 l / minフロースパッタリングヘッドを冷却するために含まれています
振動ステージ	振動ステージは真空チャンバーの底部に内蔵されています振動速度は400-2000 rpm（6-33 Hz）から調整可能粉末の2インチ容器が振動ステージに配置されます。振動中に回転します推奨パウダー量：＆lt; 500 mg以下推奨粒子サイズ：1〜1000ミクロン
真空室	石英ガラス管、外径165 mm。 x 150 mm id x 250 mm高さ
コントロールパネル	簡単な操作のためのPLC統合を備えた6インチカラータッチスクリーンコントロールパネルすべてのパラメーターのモニターと制御のための1つのパネル：真空、電流
到達真空圧	内蔵kf25真空ポートシステムには、圧力調整器付きのarガスタンクが必要です（別売）＆lt; 1.0e-2トルベーン真空ポンプ（別売） au、ag、pt、cu、moターゲット（空気の影響を受けない）＆lt; 1.0e-5 torr ターボ分子ポンプ（別売） al、mg、li、lr、ti、znターゲット（空気に敏感）最低真空が＆lt;に達する可能性があります一晩ポンプし、ベーキングすることで4.0e-6トル
ガス雰囲気	1つのニードルバルブが取り付けられており、arガス注入口でプラズマコーティングを改善できます。システムには、圧力調整器付きのarガスタンクが必要です（別売）
ターゲット	1つの2インチ銅ターゲットがテスト用に含まれています。ターゲットサイズは2インチです。 x 2.5mm また、コーティングすることができます ag、al、cr、ni、pt、ti、sn、li、mg など、ほぼすべての種類の金属材料警告：アルミニウム、クロムまたはニッケルこのマシンでコーティングできますが、以下のターゲットリンクで推奨されるコーティング方法をご覧ください非導電性材料とカーボンのコーティングには、RFプラズママグネトロンスパッタリングコーターを使用してください
全体寸法
正味重量	20キロ
出荷重量＆amp;寸法	160ポンド 45 "x 45" x 40 "
コンプライアンス	ce承認 nrtl（ul 6100）認定は追加料金でリクエストに応じて利用できます。見積もりについては営業担当者にお問い合わせください
保証	生涯サポートで1年間に制限
アプリケーションノート	警告：スパッタリングヘッドは高電圧に接続します。オペレーターは操作中に手袋を着用する必要がありますコーティングする前にターゲット、スパッタリングヘッド、基板、加熱ステージがきれいになっていることを確認してください。注：粉体はコーティングする前に十分に乾燥および分散する必要があります