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OTF-1200X-RTP-IIMOQ :
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otf-1200x-rtp-iiは、11インチの外径石英管を備えた2加熱ゾーンの急速熱処理炉です。PVDまたはCSS（ 近接した昇華 ）直径3 "または2" x2 "の正方形までのフィルムコーティング。炉は、最大20ºc/ sの加熱速度で別々に2つのグループのハロゲンヒーター（上部および下部）で加熱されます。 +/-1ºcの精度。rs485ポートと制御ソフトウェアが含まれており、PCを介した炉および温度プロファイルのロギングが可能です。cdte、硫化物、pなどの太陽電池用の新世代薄膜を研究するための優れたツールです エロブスカイト太陽電池。
仕様：
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炉の構造と真空室 |
・ デュアルヒーター、2つの温度コントローラー、2チャンネルのガス流量計がモバイルアルミ合金フレームに統合されています ・ チャンバーは高純度溶融石英管で作られています ・ 石英管サイズ：外径11 "/10.8"内径x 9 " ・ 真空フランジはステンレス鋼316で作られています ・ 全体寸法：850（l）×745（w）×1615（h）mm
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真空フランジ |
・ 1個のkfd-25真空ポートと2個のガス出口（1/4 "パイプが必要）を備えた上部フランジは、手動で上下にスライドして、基板と蒸発した材料を簡単にロードおよびアンロードできます。 ・ 底部フランジには、2つのガス入口（1/4 "パイプが必要）とニードルバルブを備えたkfd-25真空ポートが1つあります ・ フランジはダブルシリコンOリングで密閉されており、高品質の機械式ポンプで10e-2トル、分子ポンプで10e-5トルの最大真空圧を達成できます（真空ポンプは含まれません。別途注文してください） ・ 精密防食デジタル真空計は標準パッケージに含まれています （2016.03.24以降） 。 |
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ガス流量計
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2つのフロートメーターがコントロールパネルに取り付けられ、測定範囲は次のとおりです。 ・ 16-160 ml / m ・ 400-4000 ml / m（パージ用） |
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ヒーターとサンプルホルダー
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・ 高速加熱用の発熱体としての2つの短波irランプ。 ・ 2つのヒーター間の距離は10〜50 mmの範囲で調整可能 ・ ヒーターは熱放射を減らし、急速な冷却を可能にする水冷ジャケットが付いているステンレス鋼から成っています ・ 3 "丸型ウェーハホルダー 基板をロードするための上部ヒーターが内蔵 ・ 1つの高熱伝導alnプレート（直径3インチx厚さ0.5mm）が含まれており、基板の背面に置いて均一に加熱します。 ・ 1つの3インチグラファイトプレートは、代わりにainプレートに使用できます。下の写真をクリックして注文してください。 ・ ハロゲンライトヒーターの交換は追加料金で利用可能です
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・ 30個のセグメントをプログラム可能な2つの高精度デジタル温度コントローラーにより、上下のヒーターを個別に制御可能 ・ 各コントローラーには、ヒーターをオーバーシュートから保護するpid自動調整機能と、過熱や熱電対の破損を防ぐアラーム機能があります ・ PC通信インターフェース＆amp;以下に示す温度プロファイルを記録するためのソフトウェアがインストールされています（詳細は下の画像をクリックしてください）
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・ 各ヒーターの最高温度：＆lt; =650ºc ・ 2つのヒーター間の最大温度差：＆lt; =300ºcは、2つのヒーター間の間隔に依存します。 o 最大間隔30mm温度差：315ºc@加熱底のみ o 最大間隔40mm温度差：350ºc@加熱底のみ o 最大50mmの間隔温度差：395ºc@加熱底のみ |
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加熱＆冷却速度 |
・ 加熱：＆lt; 8ºc/ s（シングルヒーターのみ加熱） ・ 冷却：＆lt;最大10ºc/ s（600〜100ºc） |
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2つのk型熱電対（露出）が上下のヒーターに別々に取り付けられている |
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動作電圧 |
208-240vac、単相、20aエアブレーカー |
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電力要件 |
合計2200w（各ヒーターごとに1100w） |
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・ 1つの真空ポンプが必要です。下の左から最初の写真をクリックして個別に注文してください。真空レベルが＆lt;に達する可能性があります=機械式ポンプによる10e-2トル ・ 腐食性ガスを使用する場合は、左下から2番目の写真に示されている防食ドライポンプの使用を検討してください（ドイツのファイファーポンプ） ・ 水源を別に節約するために再循環水チラーを注文できます ・ 右下の最初の写真をクリックして、デジタルMFCガス供給システムを選択できます
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保証 |
ライフタイムサポート付きで1年間の制限（クオーツチューブや加熱ランプなどの消耗部品は保証の対象外です） |
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ラップトップ、ソフトウェア、 wifiコントロール（オプション） |
・ Microsoft Windows 10およびMicrosoft Office 2013（30日間の無料トライアル）を搭載した最新のラップトップをすぐに使用できる ・ labviewベースの温度制御システム（ eq-mts01 ） ユーザーは、温度プロファイルの編集、熱処理レシピの管理、mti炉のデータの記録とプロットを行うことができます。 ・ ワイヤレスリモートコントロールは、最大300メートルの動作範囲を提供します。 ・ 上記の機能は、リクエストに応じて追加料金（最大1,000ドル）で利用できます。詳細についてはお問い合わせください。 ・
注意： |
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アプリケーションノート |
記事を読んでください： 高効率css cdte太陽電池 |
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・ 石英管を備えた管状炉は、真空および低圧下で使用するために設計されています。 0.2 bar / 3 psi / 0.02 mpa。真空圧は1000°cまでしか安全に使用できません。ガスの流量は＆lt;チューブへの熱衝撃を減らすための200 sccm（または200 ml / min）。 ・ 注意 ：安全な操作のために、圧力を3 psi未満に制限するには、ガスシリンダーに2段圧力調整器を取り付ける必要があります。 |
1つの標準輸出パッケージ：内部衝突防止保護、外部輸出木箱包装。
2最適な方法を見つけるために顧客の要件に応じて、速達便、航空便、海上輸送
3配送プロセス中の損傷の責任は、無料であなたのために損傷した部分を変更します。
納期 ： 注文を確認してから15-20日後、詳細な納期は
生産シーズンと注文数量。
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