真空チャックまたは紫外線カバー付き加熱精密真空スピンコーター（10k rpm＆5 "）

:
Lith-520
MOQ :
1
Compliance:
CE Certified
Warranty:
1 year
Delivery Time:
5 days
電子メール :
Louis@lithmachine.com

真空チャックまたは紫外線カバー付きの精密真空スピンコーター（10k rpm＆5 "）の加熱

仕様：

構造	・安定した回転を保つアルミキャスティングケース・排水口と真空ポンプコネクタは背面パネルにあります・ 1つのフィルターは標準パッケージに含まれています。それは廃水がポンプに流れ込むのを防ぐためにポンプとコーターを接続するために使用されます・ 1つのオイルレスポンプはあります私が含まれています n標準パッケージ
チャンバーと真空チャック	・チャンバーの直径は250 mmで、直径8 "または最大5" x 5 "のウェハに対応可能・紡績室は耐食性であるppで作られています・ 6 "および8"ウェハを保持するための6 "真空チャックとチャックOリングが1つ含まれています・不規則な形状の基材またはサイズ＜５μｍのウェハをコーティングするために、１片の接着テープ（６” ｗ×２４” ｌ）が含まれる。 6
回る速さ	・異なるスピンタイムとスピードの2つのプログラム可能なセグメントを持つデジタルコントロールパネル・各セグメントで500 - 6000 rpmの調整可能な回転速度
液体注入	・ 20mlシリンジを使用してコーティング材料を入れます・シリンジホルダーの高さは調整可能で、サポートロッドに沿って自由に回転可能
オプション	・精密電子シングルチャンネルピペットを選択することができます。・コーティング前に基板表面を処理するためにプラズマクリーナーを使用することはフィルム品質を改善することができる・あなたは私たちの新製品を考慮することがあります。・ 5 mtorrまでのdiy真空フラッシュ支援溶液プロセス（vasp）用の真空フラッシュアセンブリ・デジタル温度コントローラー付き100℃までの加熱カバー（最長1分以内）追加料金（2495ドル）で入手可能で、コーティング中およびコーティング後にサンプルをその場で乾燥できます。
入力電源	・ AC 110V / 220V選択可能・ vtc-200スピンコーターの右側には内蔵の電源ソケットがあります。真空ポンプに電力を供給するために使用されます。この電源の出力電圧はスピンコーターの主回路の入力電圧に依存します。（たとえば、スピンコーターがAC 110V電源ソケットに差し込まれている場合、内蔵電源ソケットはAC 110Vを供給します）
モーターのパワー	90vdc、150ワット
製品寸法	500 mm（l）x 400 mm（d）x 400 mm（h）
正味重量	20 kg（44ポンド）
コンプライアンス	・ CE認定
保証	・生涯サポート付き1年間・不適切な保管条件やメンテナンスによる錆や損傷は、保証の対象外です。