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LITH-Gx-3MOQ :
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Louis@lithmachine.com3チャンネル空気供給ガスフローシステム
1.1。ガスはシリンダーを出る、 減圧弁で減圧し、PTFEチューブを通過 ガス供給システムの入口へ、そしてマスフローを通過します ガス流量を制御するためのメーター、そしてガス混合タンクを通過し、 その後、炉の入口に入ります。
1.2。 圧力計がガス混合タンクに取り付けられており、圧力計 ディスプレイディスクとプロトン流量計コントローラーが同じ上にインストールされている パネル。
1.3。 各ガスラインには、安全のために高圧遮断バルブがあります。
1.4。 ガス経路は、高精度のガス質量流量計を採用し、 ガス経路は完全にステンレス鋼パイプでできており、腐食性が良好です 抵抗。
1.5。 ボックス内のすべてのジョイントは、ステンレススチールフェルールで接続されています。 良好な気密性と高圧耐性。
2.技術的なパラメーター：
空気圧チャンネル：3
ガス流量制御： 質量流量計。
キャビネットの寸法： 600x600x600mm
質量流量計 技術的パラメーター：
インターフェース：Φ6
ディスプレイ：LED
作業環境温度：5〜45°c
フローコントローラー： プロトンフローコントローラーのパラメーターをご確認ください
ステンレス鋼管： Φ6外xΦ4
圧力真空 表：-0.1〜0.15 mpa、0.01 mpa / division
ストップバルブ：Φ6
フロー制御：plc インテリジェント制御
質量流量計 技術的パラメーター：
製品 名前：マスフローコントローラー
製品 説明：ノーマルタイプ、アナログ回路
製品 詳細：通常、アナログ回路、ゴム製シール、チューブ状シャント、簡単ではない ブロック。
メイン 指標：範囲：5、10、20、30、50、100、200、300、500 sccm、1、2、3、5、10 slm（範囲は任意に選択できます）
• 精度：±1％f.s
• 線形：0.5％f.s
• 再現性：±0.2％f.s
• 応答時間：1秒
• 空気圧低下：＆lt; 0.01mpa
• 最大圧力：3mp
• 作業環境温度：5〜45°c
• 入出力信号：0〜+ 5.00v
• 電源：+ 15v 50ma -15v 50ma
• 寸法：158 * 30 * 110
• 重さ：0.9 kgg
3.ガスの構成 供給システム：
3.1。プロトン流量計：3
3.2。機械式圧力計（範囲-0.1〜0.15mpa）：1
3.3。ステンレス製遮断弁：4
3.4。ステンレス鋼板の接合部：4
3.5。ステンレス鋼製バルブコネクタ：2
3.6。ステンレス製シリンダーコネクター：3
3.7。 ptfeチューブ：15m
3.8。混合タンクdia80x140mm：1
3.9。ファーネスラック：1セット
1つの標準輸出パッケージ：内部衝突防止保護、外部輸出木箱包装。
2最適な方法を見つけるために顧客の要件に応じて、速達便、航空便、海上輸送
3配送プロセス中の損傷の責任は、無料であなたのために損傷した部分を変更します。
納期 ： 注文を確認してから15-20日後、詳細な納期は
生産シーズンと注文数量。
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