2段一体型の回転式真空ポンプを備えたコンパクトなプラズマスパッタおよび炭素蒸着コーティングマシン

gsl-1100x-spc-16c-ldは、プラズマスパッタリングと蒸発を1台の小型機械に統合する、ダブルステップ回転ベーン真空ポンプを備えた2 in 1コンパクトコーティングユニットです。低コストでの材料分析における微細構造および微小領域組成分析用のsemおよびedaxサンプルの準備用に特別に設計されています。カーボンを含むさまざまな材料をコーティングします。

仕様書

入力電圧

208-240 vac、単相、50/60 Hz
110vバージョンは1500wトランスで利用可能です。

パワー

＆lt; 2000w（ポンプを含む）

出力電力

プラズマスパッタリング：

1600vdcおよび50ma max。

蒸発：10vacおよび最大。電流20a（タングステンワイヤバスケット用）。

作業室

溶融ガラス管、直径160 mm x 110mm高さ

コーティングヘッド

2つのコーティングヘッドが含まれています。

DCスパッタリングヘッド（2インチターゲット）（写真1）

タングステンワイヤバスケットを介した熱蒸発（写真2）

サンプルステージ

直径50 mmサンプルステージ、

最大コーティング面積：直径45mm

蒸発フィクスチャは、al、li、mgなどの軽量の金属材料をコーティングするために含まれています

付属品

ダブルステップロータリーベーン真空ポンプ（外部）ピラニゲージと蒸気トラップを使用すると、含まれるオイルミストが除去され、最大10-2トルの真空に到達できます

自動エア抜き用に電磁弁が1つ含まれています。

より良い炭素蒸発のため、分子ポンプを右下の写真のように追加費用で使用することをお勧めします。これにより、最大10-5トルの真空に到達できます

ガス雰囲気

1つのニードルバルブが取り付けられており、arガス注入口でプラズマコーティングを改善できます。

ターゲット＆amp;蒸発源

1 auターゲット：直径50 mm x 0.12 mm、1p cs 含まれています。

オプションのターゲットが利用可能

カーボン蒸発用に1本の3フィートのカーボンファイバー（糸）が含まれています（カーボンコーティングにカーボンロッドを使用することはできません）

全体寸法

l360mm x w300mm x h380mm

正味重量

50キロ

コンプライアンス

ce承認

nrtlまたはcsa認定は、追加料金でリクエストに応じて利用できます。見積もりについては、営業担当者にお問い合わせください。

保証

生涯サポートで1年間に制限

スパッタコーティングの知識

lith corp。最先端のスパッタコーティング技術をお客様と共有し、プラズマスパッタコーティング。

システムには、含まれていない圧力調整器を備えたARガスタンクが必要です

Evaporating Coating Machine

パッケージ：

1つの標準輸出パッケージ：内部衝突防止保護、外部輸出木箱包装。

2最適な方法を見つけるために顧客の要件に応じて、速達便、航空便、海上輸送

3配送プロセス中の損傷の責任は、無料であなたのために損傷した部分を変更します。

納期：注文を確認してから15-20日後、詳細な納期は

生産シーズンと注文数量。

ホットタグ : ロータリー蒸発システム蒸発コーティング機プラズマスパッタ炭素蒸発

2段一体型の回転式真空ポンプを備えたコンパクトなプラズマスパッタおよび炭素蒸着コーティングマシン

2段一体型の回転式真空ポンプを備えたコンパクトなプラズマスパッタおよび炭素蒸着コーティングマシン

パッケージ：