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LITH-1200PECVDMOQ :
1Compliance:
CEWarranty:
2 yearsDelivery Time:
5 days電子メール :
Louis@lithmachine.comrfジェネレーター付き高温1200°c pe / cvd炉ガス混合物ポンプシステム
lith-1200pecvd 化学蒸着（cvd）およびプラズマ化学蒸着（pecvd）マルチゾーン分割チューブ炉には、有名な カンタル ＆reg; （スウェーデン）高品質に埋め込まれたワイヤ加熱要素 三菱 ＆reg; （日本）アルミナ繊維断熱材。すべてスチールの二重層ハウジングが耐久性を確保し、外面への熱損失を最小限に抑えます。
炉の運転は しまでん ＆reg; （日本）組み込みのrs485デジタル通信ポートとusbアダプターを備えた40セグメントデジタルコントローラー。ユーザーがPCに接続して、炉の遠隔制御と監視を行うことができます。テスト結果を保存またはエクスポートすることもできます。
当社のすべての炉はceに準拠しています。
特徴
1 コンパクトでポータブルで軽量なデザイン。
2 従来のcvdsと比較して、必要な処理温度が低い。
3 膜応力は、高/低周波数混合技術によって制御できます。
4 迅速かつ簡単にチューブにアクセスできる分割炉室。
5 標準パッケージには、バルブと圧力計付きのステンレス鋼製真空シーリングフランジのセットが含まれています。
6 マイクロプロセッサベースの自己調整pid制御は、オーバーシュートを最小限に抑えて最適な熱プロセスを提供します。
7 単一サイクルで複数の大気プロセスが可能です（例：バインダーは空気中で燃え尽き、粗真空または不活性ガス環境下で焼結します。）
8 簡単な監視とトラブルシューティングのための内蔵アンプメーターとデュアル電圧計。
9 組み込みのコンピューターインターフェイス。
10 長寿命タイプk熱電対。
11 スライド可能な炉オプションにより、超高速の冷却速度を実現
安全性
1 温度が許容範囲外の場合（コントローラーのマニュアルを参照）、または熱電対が破損または誤動作した場合、過熱保護により炉がシャットダウンされます。
2 電源障害保護は、電源が再確立されると、障害点の直後に炉の運転を再開します。
警告！水素、一酸化炭素、メタンなどの爆発性ガスを炉に入れないでください。
炉、真空ポンプ、ガス混合システムの仕様
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チューブ素材 |
石英 |
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発熱体 |
カンタル ＆reg; （スウェーデン）抵抗コイル線 |
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最大対一定の作業温度 |
1200°c以下および1100°c定数 |
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熱電対タイプ |
k |
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耐火ライニング |
三菱 ＆reg; （日本）1500グレードファイバーアルミナ |
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温度調節器 |
しまでん ＆reg; （日本）4つのプログラムと40のセグメントを持つfp93 |
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最大加熱＆冷却速度 |
＆lt; 30°C /分 |
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温度調節器の精度 |
+/- 1°c（+/- 1.8°f） |
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真空シールフランジキット |
1つの真空計を備えたステンレス鋼製真空シーリングフランジ、 |
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電気的要件 |
208-240vac、50/60 Hz、単相 |
RFジェネレーターの仕様
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電気的要件 |
208-240ボルト50/60 Hz |
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出力電力 |
5〜500ワット、+ /-1％ステップで調整可能 |
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RF周波数 |
+/- 0.005％の安定性を備えた13 MHz |
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反射力 |
最大200ワット |
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マッチング |
自動 |
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rf出力ポート |
50Ω、nタイプ、メス |
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冷却 |
空気 |
標準パッケージ
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部品の説明
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量
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パーツ画像
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スプリットチューブ炉 |
1セット |
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マルチチャンネルガス供給システム |
1セット |
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プラズマRF電源（オプション） |
1セット |
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真空ポンプとエンクロージャー（オプション） |
1セット |
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石英管 |
1個 |
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アナログ流量計 |
1個 |
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圧力計付きステンレス製真空シーリングフランジ |
1セット |
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ステンレス製フック |
1個 |
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アルミナセラミックサーマルブロック |
2ペア |
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サーマルグローブ |
1ペア |
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スペアヒューズ |
2個 |
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usb / rs485コンピュータインターフェイスキット |
1セット |
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1つの標準輸出パッケージ：内部衝突防止保護、外部輸出木箱包装。
2最適な方法を見つけるために、顧客の要件に応じて、速達、航空、海上で出荷します。
3配送プロセス中の損傷の責任は、無料であなたのために損傷した部分を変更します。
納期 ： 注文を確認してから15-20日後、詳細な納期は
生産シーズンと注文数量。
Louis@lithmachine.com
+0086 15959378975
