ターボ分子真空ステーションと完全付属品を備えた小型4 "rtpチューブ炉システム

:
LITH-1200X-RTP-HV-LD
MOQ :
1
Compliance:
CE
Warranty:
2 years
Delivery Time:
5 days
電子メール :
Louis@lithmachine.com

ターボ分子真空ステーションを備えた小型4 "rtpチューブ炉システムと完全付属品

lith-1200x-rtp-hv-ld です高真空ステーション（ダイヤフラムポンプ+ターボ分子ポンプ）およびkf-d25真空フランジアセンブリを備えた、UL認定のコンパクトラピッドサーマルプロセッシングチューブ（4 "内径）。直径3"までの半導体ウェハまたは太陽電池のアニール用に設計されています。の炉は処理ユニットの周囲で8kWの1kwハロゲンライトで加熱されます。最高の暖房率。 50c /秒50セグメント精密温度調節器が正確に組み込まれています+/- 1 ° c。

炉	構造	コンパクト4インチrtpチューブ炉（二重層スチールケースムライトライナー）
	発熱体	8個ハロゲンライトチューブ（d = 10 l = 300 t = 200、mm）
	働く温度。	最大1100°C。（このrtp炉の最大保持時間は1000ºC〜1100ºCで600秒以下でなければなりません、そうでなければOリングは溶けるかもしれません）
	最大加熱速度	50°C /秒
	最大冷却速度	64℃/分（真空下：200 mtorr）、117℃/分（大気圧下）
	加熱ゾーン	+ / - 1°Cの均一性の範囲内で4 "の恒温帯を持つ12"の長さ
	プログラム温度コントローラ	による自動制御pid scr（シリコン制御整流器）位相角発火、電流制限抵抗による電力制御。加熱速度、冷却速度および滞留時間を正確に制御するための30のプログラム可能セグメント。なぜか学ぶためにここをクリックしてください scrはssc（ソリッドステートリレー）よりも正確です。過熱を伴うpidオートチューン機能を内蔵しています。壊れた熱電対保護が壊れています。過熱保護および警報は付帯者なしで操作を可能にする。 ±1℃の温度精度。 rs485通信ポートパソコン制御：ある mts-02 制御モジュールこの炉でのPC制御用です。 pcモジュールの新しいバージョンは現在ラボビューと互換性があります。05/08/2014 ノートパソコンは炉と一緒に900ドルで注文することができます。ソフトウェアのインストールの問題を回避するために、コンピュータ（ラップトップ）を購入することをお勧めします。私達は出荷する前に取付けそしてテストを行います。
	石英管サンプルホルダー	クォーツチューブのサイズ：4.33 "外径×4.05"内径× 長さ16.2 " 石英製のスライドフランジに直径3 "のサンプルホルダーを挿入直径3インチまでのサンプルをアニールするために、直径3インチのウェハをホルダーの中央に配置します。 alnは非常に高い熱伝導率を持ち、サンプル領域で最高の温度均一性を提供します。サンプルホルダーはフランジから取り外し可能
	真空フランジ	KF - D25高真空フランジは、ダブル高温のステンレス鋼で作られています。シリコンOリング、ニードルバルブ。スライディングフランジはサンプルローディングのための簡単な方法を作ります。正確な測定のための3 "石英サンプルホルダー。挿入可能な熱電対。
	水冷ジャケット	冷却水が必要です。冷却水の流量が≥10l / min、水温であることを確認してください。＆lt; 25ºc。圧力＞ 25 psi。 eq-kj5000シリーズを使用することをお勧めします。再循環水チラー水を節約するための冷却システムとして（下記の関連製品で別途注文してください）。警告：このrtp炉の最大滞留時間は水道水で1000℃〜1100℃で600秒以下でなければなりません、そうでなければOリングは溶けるかもしれません。再循環水チラーを使用すると、この保持時間は1200秒に延長できます。
	流量計	前面パネルに1つの流量計が設置されており、ガス流量を0〜160 ml / minの範囲で調整できます。
	電源入力	208-240 AC、50 / 60Hz単相、最大9kW。（60a以上のブレーカーが必要）
テレビ局高真空ステーション	構造	モバイルカートのサイズ：600（l）x 600（w）x 700（w）、mm 最大ローディング：上に600ポンド分子ポンプ制御盤：液晶デジタルダイヤフラムポンプそしてターボ分子ポンプスチールケースの内側に取り付けられています。
	真空度	6.3e-5 mbar（40インチチューブ炉付き、40分）
	コントロールパネル	ワンボタン操作 - ダイアフラムポンプとターボ分子ポンプは "start"ボタンを押すと起動します。システム制御スピニング速度 - コントローラは、反応室の真空度と漏れ速度に応じて上下に回転するタービンの速度を制御します。自己防衛 - 反応チャンバの漏れ速度が高すぎて高真空を達成することができない場合、システムは過熱による過熱およびポンプの損傷からポンプを保護します。液晶画面 - 二重線パラメータチェックインタフェース作業を扱いやすくする。自己診断回転する
	起動時間	2分
	バッキングポンプの10 mbarでの流量	50hzでは3.8 l / min、60hzでは4.4 l / min
	電源入力	110V ACまたは220V AC切り替え可能、50 / 60hz
	消費電力	持続時間/最大電力：100/110ワット
配送情報	重量と寸法	rtp炉：110ポンド、760 x 330 x 530 mm（30 "x 13" x 21 "インチ）l x w x h テレビ局：40ポンド、600 x 600 x 700 mm（24 "x 24" x 28 "）l x w x h
保証	生涯サポート付き2年間限定保証（処理管、Oリングなどの消耗品は保証対象外となりますので、下記関連商品にて交換をご注文ください。）
ノートパソコン、ソフトウェア、無線LAN制御（オプション）	即時使用のためのマイクロソフトの窓10およびマイクロソフトのオフィス2013年（30日の無料トライアル）が付いている真新しいラップトップ。 labviewベースの温度制御システム温度プロファイルの編集、熱処理レシピの管理、マルチ炉のデータの記録とプロットを可能にします。ワイヤレスリモコンは最大300メートルの動作範囲を提供します。上記の機能は、追加料金（最大1,000ドル）でリクエストに応じて利用できます。詳細についてはお問い合わせください。
コンプライアンス	CE認定炉は、追加費用でnrtlsによって試験されたul 61010、すなわちcc 61010、spe-1000に合格する準備ができている。見積もりと詳細情報についてはお問い合わせください。温度調節器は満たされ、ce認証を受けています高真空ステーションはtuv認証済み