DVDおよびrtpのための1200°cの磁石駆動のスライディングチューブ炉

:
LITH-1200X-S-DVD
MOQ :
1
Compliance:
CE
Warranty:
2 years
Delivery Time:
5 days
電子メール :
Louis@lithmachine.com

DVD＆DVD用1200℃マグネット駆動スライディングチューブ炉rtp

リト1200x s DVD 2次元材料成長のための様々な雰囲気下での直接気相成長（dvd）または急速熱処理（rtp）のために設計された1200℃の最高使用温度のコンパクトなメガネ駆動スライディング2 "管状炉です。

仕様：

炉の特徴	一つの高熱伝導率アルミナ平らな試料ホルダー（２”×１” ｗ）をｋ型試料上に固定し、試料ホルダーとの熱電対を手動で磁石によって駆動される石英管内で移動させて蒸発のための管内の望ましい温度位置を見出すことができる。または堆積。ワンスト認定の精密温度モニタ真空フランジ上のフィードスルーを介して熱電対とサンプルホルダーに接続されています。一方の磁石はサーマルブロックの内側に埋め込まれ、もう一方の磁石はチューブの外側に配置されます。外側の磁石を動かすと、チューブの内側または外側にある熱電対と共にサンプルホルダーを動かすことができます 30の区分のプログラム可能な温度調節器は最高をセットアップするために炉で造られます。炉の中心で1200℃までの使用温度一つの小さな石英るつぼ蒸着材料を封じ込めるために使用することができますまたはあなたの適用に基づいて堆積のための上にウエハーしてください。
炉パワー	110vacまたは208 - 240 vac、50 / 60hz （注文時に電圧をご確認ください） 1.5キロワット
最大温度	1200°C （1時間未満）
連続温度	1100℃ （連続）
最大昇温速度	＆lt; = 20 °C /分
加熱ゾーン	加熱ゾーンの長さ：8 "（200mm）、シングルゾーン。次の図は、加熱ゾーン全体の温度分布を示しています。クリックして拡大してください。常温ゾーン：2.3 "（60mm）（+/- 1°C）@ 1000°C あなたはフィルム成長をする前にあなた自身のアプリケーションのために炉の温度プロファイルを測定するものとします。
温度調節器	プログラム可能な30ステップのソリッドステートリレーによるPID自動制御過熱および熱電対障害保護に組み込まれていますオプション：炉はをインストールしてPCで動作させることができます制御モジュール。ご注文ください追加料金でmts02-b制御モジュール。
温度精度	+/- 1°C
発熱体	moを添加したfe-cr-al合金
チューブサイズ	2 "クォーツチューブ（外径50mm×内径44mm×内径1000mm）チューブチャンバからの熱放射を遮断するために２つの繊維状セラミックチューブブロックが含まれる。（セラミックブロックは加熱する前に炉室に完全に挿入する必要があります）サンプルや蒸着材料を配置するための小型の石英ボートが1つ含まれています。
真空フランジ	1/4 "バードフィッティング、1/4"チューブフィードスルーポート（1/4 "外径熱電対インサート用）、およびkf25真空ポートを備えた2"デフォルトフランジ（詳細を見るには下の写真をクリックしてください）
真空度	10年 -2 トル（機械式ポンプによる）
フィッティングポート＆amp; オプションパーツ	あなたが必要な場合がありますバキュームポート側のバキュームバルブ（左の写真をクリックすると注文できます）あなたが注文することを検討するかもしれませんクイックコネクトフランジ追加料金で。あなたは、DVDまたはDVD操作のためにマルチチャンネルガス配給システムを注文するかもしれません。
寸法	ふたが付いている場合：1055mm（l）×300mm（w）×400mm（h）フタを開けた状態で1055mm（l）×300mm（w）×560mm（h）
正味重量	22キロ
運送パッケージサイズ	48インチ（l）×24インチ（w）×28インチ（h）
積み込み重量	120ポンド
保証	リフトタイムサポート付きの1年間限定保証（処理チューブやOリングなどの消耗部品は保証の対象外です。
ノートパソコン、ソフトウェア、無線LAN制御（オプション）	即時使用のためのマイクロソフトの窓10およびマイクロソフトのオフィス2013年（30日の無料トライアル）が付いている真新しいラップトップ。 *labviewベースの温度制御システム* 温度プロファイルの編集、熱処理レシピの管理、マルチ炉のデータの記録とプロットを可能にします。ワイヤレスリモコンは最大300メートルの動作範囲を提供します。上記の機能は、追加料金（最大1,000ドル）でリクエストに応じて利用できます。詳細についてはお問い合わせください。
コンプライアンス	CE認定すべての電気部品（24V以上）はul / met / csa認証済み炉は、追加料金でtuv（ul61010）またはcsa認証に合格する準備ができています。
アプリケーションノート	石英管を有する管炉は真空下および低圧下で使用するために設計されている。 0.2 bar / 3 psi / 0.02 mpa *ある注意* 安全に操作するために、圧力を3 psi以下に制限するために、2段式圧力調整装置をガスボンベに取り付ける必要があります。すべての石英管炉の真空限界の定義：*真空圧は1000℃までで安全に使用できますチューブへの熱衝撃を減らすために、ガスの流量は200 sccm（または200 ml / min）以下に制限されるべきです。あなたがeasで真空でサンプルを冷却したいならば、以下のmodleを考慮してください