リス電池機へようこそ !
English français Deutsch русский italiano español português Polski
電子メール:Louis@lithmachine.com
製品
ホーム 製品 Lab Coater Sputtering Coater

plc統合を備えた小型dcマグネトロンスパッタリングコータコーティング機

お問い合わせ

  • Contact Person : Louis Yang
  • 電子メール : Louis@lithmachine.com
  • アドレス : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
plc統合を備えた小型dcマグネトロンスパッタリングコータコーティング機

plc統合を備えた小型dcマグネトロンスパッタリングコータコーティング機

  • :

    VTC-16-SM

  • MOQ :

    1

  • Compliance:

    CE Certified

  • Warranty:

    1 year

  • Delivery Time:

    5 days

  • 電子メール :

    Louis@lithmachine.com

plc統合を備えた小型dcマグネトロンスパッタリングコータコーティング機



vtc-16-smは ハイパワー デスクトップ マグネトロン プラズマスパッタリングコーター とともに 水冷2 "ターゲットヘッド 、水スリラーおよび回転可能なサンプルホルダー。コーティングユニットはすべての金属フィルムをコーティングするように設計されています 直径4 "ウェハ 含む zn、al、ti、カーボン 手頃な価格で軽いフィルム。即時使用のために1つのalターゲットが含まれています。 （ 2015年5月18日以降、この製品には標準パッケージの真空ポンプは付属していません。 ）

仕様

入力電圧

  • 220 Vac 50 / 60hz
  • 110 V電源は 1000 Wトランス（15 Aヒューズ ）トランスは別売りです。

出力パワー

  • 1600 VDC
  • 250ワット
  • 最大150 ma
  • 過電流保護を内蔵（＆gt; 150 ma）

試料室

  • 石英ガラス管、外径165 mm。内径150 mm、高さ250 mm


スパッタリングヘッド
試料ステージ

  • 水冷ジャケット付き2インチフレキシブルマグネトロンスパッタリングヘッドが含まれています（図1）
  • 直径50 mmのステンレススチール製サンプルステージが0〜5 rpmで回転可能
  • ターゲット保護のための1つの手動シャッター。 （図2）
  • 非動作時にスパッタヘッドを保持するためのスパッタヘッドホルダを用意しています。
  • スパッタリングヘッドと試料台の間の距離は60 - 100 mmの範囲で調整可能です。
  • 最大コーティング面積： 最大直径4 "
  • 1 空冷再循環ウォーターチラー10 l / min flow スパッタリングヘッドを冷却するために含まれています。 （図6）

コントロールパネル

  • 簡単な操作のためのplc統合を備えた6 "カラータッチスクリーンコントロールパネル
  • すべてのパラメータを監視および制御するための1つのパネル：真空、電流。

到達真空圧

  • 内蔵kf25真空ポート
  • システムには圧力調整器付きのarガスタンクが必要です。 （含まれていない）
  • ＆lt; 1.0e-2トル ベーン式真空ポンプ（別売） au、ag、pt、cu、moターゲット（空気に敏感ではない）
  • ＆lt; 1.0e-5トル ターボ分子ポンプ（別売） al、mg、li、lr、ti、znターゲット（空気に敏感）
  • 最低真空度は＜に達し得る。一晩排気してベーキングすることにより4.0e-6トル

ガス雰囲気

  • arガス注入口がより良いプラズマコーティングを達成できるように設置された1つのニードルバルブ
  • システムには圧力調整器付きのarガスタンク（別売）が必要


ターゲット

・ テスト用に2インチ銅ターゲットが1つ含まれています。ターゲットサイズ：直径2インチx 2.5 mm。

  • それはまた塗ることができます ag、al、cr、ni、pt、ti、sn、li、mg など、ほとんどあらゆる種類の金属材料。
  • 警告： アルミニウム、クロムまたはニッケルターゲット この機械でコーティングすることができますが、使用する前に推奨されるコーティング方法をご覧ください。
  • アルミナのコーティングにはrfプラズママグネトロンスパッタリングを使用してください。

オプションの膜厚モニター

  • 膜厚モニターは追加料金でオプション
  • 500℃まで加熱可能なサンプルステージは追加料金にてご要望に応じて利用可能です
  • 正確な制御ガス入口のための流量計は追加料金で要望に応じて利用可能です。

全体寸法

  • l 440 mm×w 330 mm×h 290 mm

正味重量

  • 20キロ

配送重量と寸法

  • 160ポンド
  • 45 "×45"×40 "

コンプライアンス

  • ce承認
  • nrtl認証は追加料金でリクエストに応じて利用可能です、引用のために我々の営業担当者に連絡してください。

保証

  • 生涯サポート付き1年間

アプリケーションノート

  • 警告：スパッタリングヘッドは高電圧に接続されています。オペレータは操作中手袋を着用しなければなりません
  • コーティングする前に、ターゲット、スパッタリングヘッド、基板、および加熱ステージがきれいであることを確認してください。




Magnetron Sputtering Coater









パッケージ：

1標準輸出パッケージ：内部衝突防止保護、外部輸出木製ボックス包装。

最も適切な方法を見つけるために顧客の要求に応じて海によって、速達による2出荷。

輸送過程の間の損害に対して責任がある3は、無料であなたのために損害を受けた部分を変えます。

納期 ： 順序を確認した後15-20日、細部配達日はに従って決定されるべきです

製造シーズンと発注数量





ホットタグ : マグネトロンスパッタリングコーター dcマグネトロンスパッタリング マグネトロンスパッタ

マグネトロンスパッタリングコーター

導電性金フィルムをコーティングするために設計されたdcマグネトロンスパッタリングコーター機

真空熱蒸発コーター

温度制御が付いている真空の熱蒸発のコーティングのコーター機械

プラズマスパッタリングコーター

500cのヒーターが付いている3つの回転式ターゲット血しょうスパッタコータのコータ

プラズマスパッタ

1つのプラズマスパッタ炭素蒸発コーティング機でコンパクトな2つ

CSS炉

回転および加熱と冷却の2つのゾーンを備えた最高800℃のCSS炉

マグネトロンスパッタリングコーティング

非金属薄膜用小型2インチ高周波プラズママグネトロンスパッタリングコーティング装置

マグネトロンスパッタリング装置

デュアル2インチターゲット源を備えた小型マグネトロンスパッタリングシステムコーター

プラズマスパッタリングコーター

3つの2インチマグネトロンスパッタリング源を有する実験室用コンビナトリアルプラズマスパッタリングコーティングコーター機