リス電池機へようこそ !
English français Deutsch русский italiano español português Polski
電子メール:Louis@lithmachine.com
製品
ホーム 製品 Lab Coater Sputtering Coater

非金属薄膜用小型2インチ高周波プラズママグネトロンスパッタリングコーティング装置

お問い合わせ

  • Contact Person : Louis Yang
  • 電子メール : Louis@lithmachine.com
  • アドレス : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
非金属薄膜用小型2インチ高周波プラズママグネトロンスパッタリングコーティング装置

非金属薄膜用小型2インチ高周波プラズママグネトロンスパッタリングコーティング装置

  • :

    VTC-2RF

  • MOQ :

    1

  • Compliance:

    CE Certified

  • Warranty:

    1 year

  • Delivery Time:

    5 days

  • 電子メール :

    Louis@lithmachine.com

非金属薄膜用小型2インチ高周波プラズママグネトロンスパッタリングコーティング装置


vtc-2rfはコンパクトな2 "シングルヘッドrfプラズママグネトロンスパッタリングシステムコーティング非金属、主に酸化物薄膜です。それはrf電源、石英真空チャンバー、真空ポンプ、再循環水を含む1フロアスタンドキャビネットにすべてのコンポーネントを統合しますチラーや膜厚モニターなど、r＆amp; dで非導電性材料の薄膜をコーティングするための優れた費用対効果の高いコーターです。

仕様

入力電源

  • 220 Vac、50 / 60hz、単相
  • 800W（ポンプを含む）
  • 電圧が110 Vacの場合、1000 Wのトランスが必要です。注文するには左の画像をクリックしてください。

ソース電源

  • 1 自動マッチング機能付き13.5 MHz、300 W RFジェネレータ 機能はキャビネットで造られ、2 "スパッタリングの頭部に接続されます。
  • 任意：dcスパッタリング電源は金属材料を塗るために利用できます

マグネトロンスパッタリングヘッド

  • 水冷ジャケット付きの2つの2 "マグネトロンスパッタリングヘッドが含まれており、クイッククランプを介して石英チャンバーに挿入
  • フランジに1つのシャッターが組み込まれています（手動操作）
  • マグネトロンスパッタリングヘッドの冷却には、16 l / minのデジタル制御再循環式ウォーターチラーが1つ必要です。
  • 1 "スパッタリングヘッドは追加料金で交換可能でオプション
  • 148 cmのrfケーブルは追加料金で交換可能

スパッタリングターゲット

  • 目標サイズの要件：最大直径2 "x 1/4"厚さ
  • デモテスト用に1つのsio2ターゲットが含まれています。
  • Al 2 O 3セラミックターゲット コーティング方法をお勧めします
  • ご要望に応じて、オプションの2インチスパッタリングターゲット（バッキングプレート付き）を追加料金で利用できます。

真空室

  • 真空チャンバ：外径１６０ｍｍ×内径１５０ｍｍ×高さ２５０ｍｍ。高純度石英製
  • シールフランジ：直径165 mm。高温シリコンOリング付きアルミニウム製
  • ステンレス製のメッシュカバーは、チャンバーからの100％のシールドRF放射のために含まれます
  • 真空レベル：付属のデュアルステージメカニカルポンプで1.0e-2トル、オプションのターボポンプで1.0e-5トル

サンプルホルダー

  • サンプルホルダーは回転可能で、ステンレス製のカバー付きのセラミックヒーターで加熱可能
  • サンプルホルダーのサイズ：直径50 mm。 2 "ウェーハ最大
  • 回転速度は調節可能です：1 - 10 rpmで均一なコーティング
  • ホルダー温度は、デジタル温度コントローラーにより±1.0℃の精度で室温から500℃まで調整可能です。
  • 800-1000ºC加熱サンプルホルダーは要望に応じて利用可能です。
  • パワーpvdコーティングには、オプションの振動サンプルホールドが可能です。 （下の写真3）

真空ポンプステーション

  • 真空ポンプに接続するためのkf25真空ポートが内蔵されています。
  • KF25アダプター付き真空ポンプが必要ですが、含まれていません..別に注文するために絵をクリックしてください。
  • 真空レベル：デュアルステージメカニカルポンプで1.0e-2トル、ターボポンプで1.0e-5トル

オプション

  • 精密石英厚さセンサーはオプションで、チャンバーに内蔵され、0.10Åの精度でコーティング厚さをモニターできます。ノートパソコンはディスプレイの厚さのcorveに必要です

全体寸法

正味重量

  • 70キロ

保証とコンプライアンス

  • 生涯サポート付き1年間限定保証
  • CE認定
  • nrtlまたはcsa認証は追加料金でリクエストに応じて利用可能です

アプリケーションノート

  • このコンパクトな2 "rfマグネトロンスパッタリングコーターは酸化物単結晶基板上に酸化物薄膜をコーティングするために設計されています。
  • ＆gt;を使用してください。プラズマスパッタリング用5n純度arガス
  • 最良のフィルム - 基板接着強度のために、コーティングの前に基板表面をきれいにしてください：
    • オイルとグリースを除去するために、（1）アセトン、（2）イソプロピルアルコールの順次浴で超音波洗浄。 n2で基板をブロードライしてから、真空中でホットベイクして、吸収した水分を取り除きます。
    • 粗面化、表面化学結合の活性化、または追加の汚染除去にはプラズマクリーニングが必要になる場合があります。
    • cr、ti、mo、taなどの薄いバッファ層（〜5 nm）を適用して、金属や合金の密着性を向上させることができます。
  • 最高の性能を得るためには、非導電性ターゲットに銅製バッキングプレートを取り付ける必要があります。ターゲットボンディングについては、下記の説明ビデオ（＃3）を参照してください。
  • tmaxはコーターを使用してalのznoを正常にコーティングしました 2 ○ 3 500℃での基質（写真＃5のxrdプロファイル）
  • 水チラーで水道水を使用しないでください。コーラントとして、ジ水、蒸留水、または防錆添加剤を使用してください。





Magnetron Sputtering Coating









パッケージ：

1標準輸出パッケージ：内部衝突防止保護、外部輸出木製ボックス包装。

最も適切な方法を見つけるために顧客の要求に応じて海によって、速達による2出荷。

輸送過程の間の損害に対して責任がある3は、無料であなたのために損害を受けた部分を変えます。

納期 ： 順序を確認した後15-20日、細部配達日はに従って決定されるべきです

製造シーズンと発注数量





ホットタグ : マグネトロンスパッタリングコーティング 2インチRFプラズママグネトロン rfプラズママグネトロンスパッタ

マグネトロンスパッタリングコーター

導電性金フィルムをコーティングするために設計されたdcマグネトロンスパッタリングコーター機

真空熱蒸発コーター

温度制御が付いている真空の熱蒸発のコーティングのコーター機械

プラズマスパッタリングコーター

500cのヒーターが付いている3つの回転式ターゲット血しょうスパッタコータのコータ

プラズマスパッタ

1つのプラズマスパッタ炭素蒸発コーティング機でコンパクトな2つ

マグネトロンスパッタリングコーター

plc統合を備えた小型dcマグネトロンスパッタリングコータコーティング機

CSS炉

回転および加熱と冷却の2つのゾーンを備えた最高800℃のCSS炉

マグネトロンスパッタリング装置

デュアル2インチターゲット源を備えた小型マグネトロンスパッタリングシステムコーター

プラズマスパッタリングコーター

3つの2インチマグネトロンスパッタリング源を有する実験室用コンビナトリアルプラズマスパッタリングコーティングコーター機