非金属薄膜用小型2インチ高周波プラズママグネトロンスパッタリングコーティング装置
vtc-2rfはコンパクトな2 "シングルヘッドrfプラズママグネトロンスパッタリングシステムコーティング非金属、主に酸化物薄膜です。それはrf電源、石英真空チャンバー、真空ポンプ、再循環水を含む1フロアスタンドキャビネットにすべてのコンポーネントを統合しますチラーや膜厚モニターなど、r＆amp; dで非導電性材料の薄膜をコーティングするための優れた費用対効果の高いコーターです。
仕様
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入力電源
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220 Vac、50 / 60hz、単相
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800W（ポンプを含む）
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電圧が110 Vacの場合、1000 Wのトランスが必要です。注文するには左の画像をクリックしてください。
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ソース電源
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1 自動マッチング機能付き13.5 MHz、300 W RFジェネレータ 機能はキャビネットで造られ、2 "スパッタリングの頭部に接続されます。
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任意：dcスパッタリング電源は金属材料を塗るために利用できます
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マグネトロンスパッタリングヘッド
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水冷ジャケット付きの2つの2 "マグネトロンスパッタリングヘッドが含まれており、クイッククランプを介して石英チャンバーに挿入
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フランジに1つのシャッターが組み込まれています（手動操作）
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マグネトロンスパッタリングヘッドの冷却には、16 l / minのデジタル制御再循環式ウォーターチラーが1つ必要です。
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1 "スパッタリングヘッドは追加料金で交換可能でオプション
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148 cmのrfケーブルは追加料金で交換可能
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スパッタリングターゲット
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目標サイズの要件：最大直径2 "x 1/4"厚さ
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デモテスト用に1つのsio2ターゲットが含まれています。
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Al 2 O 3セラミックターゲット コーティング方法をお勧めします
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ご要望に応じて、オプションの2インチスパッタリングターゲット（バッキングプレート付き）を追加料金で利用できます。
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真空室
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真空チャンバ：外径１６０ｍｍ×内径１５０ｍｍ×高さ２５０ｍｍ。高純度石英製
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シールフランジ：直径165 mm。高温シリコンOリング付きアルミニウム製
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ステンレス製のメッシュカバーは、チャンバーからの100％のシールドRF放射のために含まれます
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真空レベル：付属のデュアルステージメカニカルポンプで1.0e-2トル、オプションのターボポンプで1.0e-5トル
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サンプルホルダー
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サンプルホルダーは回転可能で、ステンレス製のカバー付きのセラミックヒーターで加熱可能
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サンプルホルダーのサイズ：直径50 mm。 2 "ウェーハ最大
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回転速度は調節可能です：1 - 10 rpmで均一なコーティング
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ホルダー温度は、デジタル温度コントローラーにより±1.0℃の精度で室温から500℃まで調整可能です。
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800-1000ºC加熱サンプルホルダーは要望に応じて利用可能です。
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パワーpvdコーティングには、オプションの振動サンプルホールドが可能です。 （下の写真3）
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真空ポンプステーション
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真空ポンプに接続するためのkf25真空ポートが内蔵されています。
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KF25アダプター付き真空ポンプが必要ですが、含まれていません..別に注文するために絵をクリックしてください。
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真空レベル：デュアルステージメカニカルポンプで1.0e-2トル、ターボポンプで1.0e-5トル
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オプション
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精密石英厚さセンサーはオプションで、チャンバーに内蔵され、0.10Åの精度でコーティング厚さをモニターできます。ノートパソコンはディスプレイの厚さのcorveに必要です
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全体寸法
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正味重量
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保証とコンプライアンス
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生涯サポート付き1年間限定保証
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CE認定
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nrtlまたはcsa認証は追加料金でリクエストに応じて利用可能です
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アプリケーションノート
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このコンパクトな2 "rfマグネトロンスパッタリングコーターは酸化物単結晶基板上に酸化物薄膜をコーティングするために設計されています。
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＆gt;を使用してください。プラズマスパッタリング用5n純度arガス
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最良のフィルム - 基板接着強度のために、コーティングの前に基板表面をきれいにしてください：
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オイルとグリースを除去するために、（1）アセトン、（2）イソプロピルアルコールの順次浴で超音波洗浄。 n2で基板をブロードライしてから、真空中でホットベイクして、吸収した水分を取り除きます。
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粗面化、表面化学結合の活性化、または追加の汚染除去にはプラズマクリーニングが必要になる場合があります。
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cr、ti、mo、taなどの薄いバッファ層（〜5 nm）を適用して、金属や合金の密着性を向上させることができます。
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最高の性能を得るためには、非導電性ターゲットに銅製バッキングプレートを取り付ける必要があります。ターゲットボンディングについては、下記の説明ビデオ（＃3）を参照してください。
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tmaxはコーターを使用してalのznoを正常にコーティングしました 2 ○ 3 500℃での基質（写真＃5のxrdプロファイル）
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水チラーで水道水を使用しないでください。コーラントとして、ジ水、蒸留水、または防錆添加剤を使用してください。
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パッケージ：
1標準輸出パッケージ：内部衝突防止保護、外部輸出木製ボックス包装。
最も適切な方法を見つけるために顧客の要求に応じて海によって、速達による2出荷。
輸送過程の間の損害に対して責任がある3は、無料であなたのために損害を受けた部分を変えます。
納期 ： 順序を確認した後15-20日、細部配達日はに従って決定されるべきです
製造シーズンと発注数量
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