1つのプラズマスパッタ炭素蒸発コーティング機でコンパクトな2つ

gsl-1100x-spc-16c-ldは2つの1つのコンパクトコーティングユニットですダブルステップロータリーベーン真空ポンプ。プラズマスパッタリングと蒸発を1台の小型装置に統合します。それは特別に低コストで材料分析における微細構造および微小領域組成分析のためのsemおよびedaxサンプルを調製するために設計されています。カーボンを含む様々な材料をコーティングする。

仕様

入力電圧 208 - 240 Vac、単相、50 / 60Hz
110ワットバージョンは1500ワットトランスで利用可能です。

パワー＆lt; 2000ワット（ポンプ含む）

出力パワー

プラズマスパッタリング

1600vdcと最大50ma

蒸発： 10vac以上電流２０ａ（タングステンワイヤバスケット用）。

作業室

溶融ガラス管、直径160 mm。高さ×110mm

コーティングヘッド

2つのコーティングヘッドが含まれています：

DCスパッタリングヘッド（2 "ターゲット）（写真1）

タングステンワイヤーバスケットによる熱蒸発（写真2）

サンプルステージ

直径50 mmのものサンプルステージ

最大コーティング面積：直径45 mm

al、li、mgなどの軽量金属材料をコーティングするための蒸着器具

付属品

ダブルステップロータリーベーン真空ポンプピラニゲージ付き（外付け）ベーパートラップはオイルミストを排除し、10-2トルまで真空に達することができます。

自動エア抜きのために1つの電磁弁が含まれています。

より良い炭素蒸発のために、右下の図のように分子ポンプを追加料金で使用することをお勧めします。

ガス雰囲気 arガス注入口がより良いプラズマコーティングを達成できるように設置された1つのニードルバルブ

ターゲット＆amp; A蒸発源

1 au target：直径50 mm ×0.12 mm、1個含まれています。

カーボン蒸着用に1本の3フィートカーボンファイバー（糸）が含まれています（カーボンコーティングにカーボンロッドを使用することはできません）

全体寸法
l360mm x w300mm x h380mm

正味重量 50キロ

コンプライアンス

ce承認

nrtlまたはcsa認証は追加料金でリクエストに応じて利用可能です、引用のために我々の営業担当者に連絡してください。

保証生涯サポート付き1年間

スパッタコーティングの知識

tmaxコーポレーション最先端のスパッタコーティング技術をお客様と共有します。

システムは含まれていない圧力調整器とarガスタンクを必要とします

Plasma Sputter

パッケージ：

1標準輸出パッケージ：内部衝突防止保護、外部輸出木製ボックス包装。

最も適切な方法を見つけるために顧客の要求に応じて海によって、速達による2出荷。

輸送過程の間の損害に対して責任がある3は、無料であなたのために損害を受けた部分を変えます。

納期：順序を確認した後15-20日、細部配達日はに従って決定されるべきです

製造シーズンと発注数量

ホットタグ : プラズマスパッタ炭素蒸着コーティングプラズマスパッタカーボン蒸発

1つのプラズマスパッタ炭素蒸発コーティング機でコンパクトな2つ

1つのプラズマスパッタ炭素蒸発コーティング機でコンパクトな2つ

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