炉構造
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炉、2つの温度コントローラ、2チャンネルのガス流量計が可動式のアルミ合金フレームに統合されています。
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部屋はの次元が付いている高純度の溶融石英の管から成っています 11 "od / 10.8" id x 9 "h。
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真空フランジはステンレス鋼316から成っていて、電気モーターによって持ち上げます。
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2つの5 "x 5" ir加熱プレートと間隔は調整可能です。
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上部サンプルホルダーは0 - 7 rpmの速度で回転可能です。
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1つのkfd-25真空ポートと1つのガス出口（1/4 "パイプが必要）を備えた上部フランジは、手動で上下にスライドして、基板と蒸着材料を簡単にロードおよびアンロードできます。
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底部フランジには、ニードルバルブ付きの1つのガス注入口（1/4 "パイプが必要）を備えた1つのkfd-25真空ポートがあります。
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フランジは二重シリコーンOリングで密封されており、最大を達成することができます。品質によって10e-2トルの真空圧力 メカニカルポンプと分子ポンプによる10e-5トル（真空ポンプは含まれていません。別途注文してください）。
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1つのデジタル真空計が上部フランジに取り付けられています。
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精密防錆デジタル真空計は標準パッケージです （2016.03.24以降） 。
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ヒーターとサンプルホルダー
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2〜30 mmの手動調整式ギャップを持つ2つの独立制御ヒーター
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急速熱処理用の発熱体として20個のハロゲンランプが使用されています。
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ヒーターは熱放射を減らすために水冷ジャケットが付いているステンレス鋼から成っていて、そして急速な冷却が可能です。
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直径５インチの円形ウエハホルダーは、基板を保持するためにトップヒーターに組み込まれている。
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一組の高熱伝導Alプレート（直径5 "×厚さ0.5mm）が含まれています（基板を均一に加熱するために基板の裏側に置きます）。
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58リットル/分の循環水チラーが節水のために含まれています（詳細な仕様を見るために下の写真をクリックしてください）。
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上部サンプルホルダーは調整可能な速度0 - 7 rpmで回転可能
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温度調節器
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プログラム可能な30セグメントを備えた2つの高精度デジタル温度コントローラは、上下のヒーターを個別に制御します。
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各コントローラには、オーバーシュートからヒーターを保護するためのPID自動調整機能と、過熱による熱電対の損傷を防ぐためのアラーム機能があります。
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パソコン通信インターフェース下に示す温度プロファイルを記録するためのソフトウェアがインストールされています（詳細は下の写真をクリック）。
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作業温度
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各ヒーターの最高温度：≤800ºc。
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2つのヒーター間の最大温度差：≤300ºcは2つのヒーター間の間隔によって異なります。
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暖房＆冷却速度
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加熱：＆lt; 8ºc/ s（暖房シングルヒーターのみ）
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冷却：＆lt;最大10ºc/ s（600 - 100ºc）
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サーマルカップル
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2つのk型熱電対が上下のヒーターに別々に取り付けられています。
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動作電圧
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208 - 240 vac、単相、50 Aエアブレーカー
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電力要件
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合計10キロワット
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配送重量と寸法
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2つのパレット：525ポンド 48 "x 40" x 87 "および165 lbs、寸法39 x 31 x 29"
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オプション
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一つの真空ポンプが必要です。左下の最初の写真をクリックして個別にご注文ください機械的ポンプにより真空度は10e-2トル以下に達することがあります。
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腐食性ガスを使用する場合は、コールドトラップを使用するか、防食用ドライポンプを追加料金で写真2-3に示します。
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あなたは右下から最初の写真をクリックしてデジタルMFCガス供給システムを選択することができます。
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保証
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一年間の寿命限定サポート（石英管や加熱ランプなどの消耗部品は保証の対象外）
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アプリケーションノート警告
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石英管を有する管炉は、真空下および低圧下で使用するように設計されている。 ０．２バール／ ３ｐｓｉ ／ ０．０２ｍｐａ。真空圧は1000°Cまでしか安全に使用できません。ガスの流速は＜に制限されるべきである。チューブへの熱衝撃を減らすために200 sccm（または200 ml / min）。
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ある 注意 安全に操作するためには、圧力を3 psi以下に制限するために、2段式圧力調整装置をガスボンベに取り付ける必要があります。
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この炉のフットスタンドは、平らな面（ピットやバンプなし）のみでの短距離運搬用に設計されています。
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