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OTF-1200X-RTP-II-5MOQ :
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otf-1200x-rtp-ii-5は、11 "i.d.石英チャンバーを備えた急速熱処理炉です。熱蒸発またはcss（ 近接した昇華 ）直径5インチまでの円形サンプルおよび最大800°cのフィルムコーティング。最大2基のハロゲンヒーター（上部と下部）で別々に加熱されます 10ºc/ s 加熱速度。 2つの30セグメント精密温度コントローラーが+/-1ºcの精度で組み込まれています。 rs485ポートと制御ソフトウェアが含まれており、PCを介して炉の操作と温度プロファイルのロギングが可能です。 cdte、硫化物、ペロブスカイト太陽電池などの太陽電池用の新世代薄膜を研究するための優れたツールです。
仕様：
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炉の構造と真空室 |
・ 2つの温度コントローラー。 ・ チャンバーは高純度の溶融石英管でできています。 ・ 石英管サイズ：外径11 "/10.8"内径x 9 " ・ 真空フランジはステンレス鋼316でできています。 |
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真空フランジ
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・ 1つのkfd-25真空ポートと1つのガスアウトレット（1/4 "パイプが必要）を備えた上部フランジは、基板と蒸発した材料を簡単にロードおよびアンロードするために手動で上下にスライドできます。 ・ 底部フランジには、ニードルバルブ付きのガス入口（1/4 "パイプが必要）が1つあるkfd-25真空ポートが1つあります。 ・ フランジはダブルシリコンOリングで密閉されており、最大を達成できます。高品質の機械的ポンプによる10e-2トルと分子ポンプによる10e-5トルの真空圧（真空ポンプは含まれていません。別途注文してください）。 ・ 1つのデジタル真空計が上部フランジに取り付けられています。 ・ 精密防食デジタル真空計は標準パッケージに含まれています （2016.03.24以降） 。 |
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ガス流量制御
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ヒーターとサンプルホルダー |
・ 2〜30 mmの手動調整可能なギャップを備えた2つの独立制御ヒーター。 ・ 20個のハロゲンランプは、急速熱処理の発熱体として使用されます。 ・ ヒーターは水冷ジャケット付きのステンレススチールで作られており、熱放射を減らして急速に冷却します。 ・ 直径5インチの円形ウエハーホルダーは、基板を保持するためのトップヒーターに組み込まれています。 ・ 1セットの高熱伝導alnプレートまたはグラファイトプレート（直径5インチx厚さ0.5mm）が含まれています（材料を蒸発させるために底面に配置） ・ 58l / minの循環水チラーが水源を節約するために含まれています（詳細な仕様を見るには下の写真をクリックしてください）。
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・ プログラム可能な30セグメントの2つの高精度デジタル温度コントローラーは、上部ヒーターと下部ヒーターを個別に制御します。 ・ 各コントローラーには、ヒーターをオーバーシュートから保護するpidオートチューニング機能と、オーバーヒートを回避するアラーム機能があり、熱電対が壊れています。 ・ PC通信インターフェース＆amp;以下に示す温度プロファイルを記録するためのソフトウェアがインストールされています。
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・ 各ヒーターの最高温度：＆lt; =800ºc。 ・ 2つのヒーター間の最大温度差：＆lt; =300ºcは、2つのヒーター間の間隔に依存します。 o 最大間隔30mm温度差：315ºc@加熱底のみ |
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加熱＆冷却速度 |
・ 加熱：＆lt; 8ºc/ s（シングルヒーターのみ加熱） ・ 冷却：＆lt;最大10ºc/ s（600〜100ºc） |
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2つのkタイプの熱電対が上下のヒーターに別々に取り付けられています。 |
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動作電圧 |
220vac、単相、60aエアブレーカーが必要 |
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電力要件 |
合計9.5kw |
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寸法 |
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出荷重量＆amp;寸法 |
・ 2つのパレット：525 lbsおよび48 "x 40" x 87 "および165 lbs、39x31x29"寸法 |
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・ 1つの真空ポンプが必要です。下の左から最初の写真をクリックして個別に注文してください。真空レベルが＆lt;に達する可能性があります=機械的ポンプによる10e-2 torr。 ・ 腐食性ガスを使用する場合は、左下から2番目の写真に示されている防食ドライポンプ（ドイツのファイファーポンプ）を追加料金で使用することを検討してください。 ・ 右下の最初の写真をクリックして、デジタルmfcガス供給システムを選択できます。
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保証 |
ライフタイムサポート付きで1年間の制限（クオーツチューブや加熱ランプなどの消耗部品は保証の対象外です）。 |
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ラップトップ、ソフトウェア、 wifiコントロール（オプション） |
・ Microsoft Windows 10およびMicrosoft Office 2013（30日間の無料トライアル）を搭載した最新のラップトップをすぐに使用できる ・ labviewベースの温度制御システム（ eq-mts01 ） ユーザーは、温度プロファイルの編集、熱処理レシピの管理、mti炉のデータの記録とプロットを行うことができます。 ・ ワイヤレスリモートコントロールは、最大300メートルの動作範囲を提供します。 ・ 上記の機能は、リクエストに応じて追加料金（最大1,000ドル）で利用できます。詳細についてはお問い合わせください。 ・ 注意： ソフトウェアは以下とのみ互換性があります tmax ユディアン温度コントローラー |
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・ 石英管を備えた管状炉は、真空および低圧で使用するように設計されています＆lt; 0.2 bar / 3 psi / 0.02 mpa。真空圧は1000°cまでしか安全に使用できません。ガスの流量は＆lt;チューブへの熱衝撃を減らすための200 sccm（または200 ml / min）。 ・ 注意 ：安全な操作のために、圧力を3 psi未満に制限するには、ガスシリンダーに2段圧力調整器を取り付ける必要があります。 ・ この炉のフットスタンドは、平らな表面を短距離で運搬するように設計されています |
1つの標準輸出パッケージ：内部衝突防止保護、外部輸出木箱包装。
2最適な方法を見つけるために顧客の要件に応じて、速達便、航空便、海上輸送
3配送プロセス中の損傷の責任は、無料であなたのために損傷した部分を変更します。
納期 ： 注文を確認してから15-20日後、詳細な納期は
生産シーズンと注文数量。
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+0086 15959378975
1085mm長さx 680mm幅x 1710mm高さ
