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合計4つの蒸発源るつぼを備えたコンパクトな熱蒸発システム

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合計4つの蒸発源るつぼを備えたコンパクトな熱蒸発システム

合計4つの蒸発源るつぼを備えたコンパクトな熱蒸発システム

  • :

    GSL-1700X-EV4

  • MOQ :

    1

  • Compliance:

    CE Certified

  • Warranty:

    1 year

  • Delivery Time:

    5 days

  • 電子メール :

    Louis@lithmachine.com

合計4つの蒸発源るつぼを備えたコンパクトな熱蒸発システム



gsl-1700x-ev4は、合計4つの蒸発源るつぼと精密でプログラム可能な温度制御を備えたコンパクトな熱蒸発システムです。 4つの蒸発るつぼを使用して、複数の異なる材料を堆積し、同じチャンバー雰囲気で多層膜を1つずつ成長させることができます。このシステムは、200ºC〜1500ºC（またはオプションのbタイプ熱電対で200ºC〜1700ºc）の2インチまでのほとんどの金属および有機材料フィルムのコーティングに適しています。

仕様：

構造と特徴
Thermal Evaporating System

  • 280 mm外径x 260 mm内径高さ310 mmのクォーツチャンバーにより、洗浄とサンプルのローディングが容易
  • 均一なフィルムコーティングのための直径2インチの蒸発源
  • 1700ºcまでの高温コーティング用のタングステンコイルヒーターとアルミナcr堝
  • 30個のプログラム可能なセグメントと+/- 1ºc精度の精密温度制御
  • オプションのターボポンプにより、最大1.0e-5 torrの高真空を実現できます
  • チャンバーのパージとcvdの可能性のためにガスフローポートとバルブが組み込まれています

入力電力
Thermal Evaporating System

  • 入力電圧：AC 208-240 V 50/60 Hz、単相（110V ACは1500wトランスを介して利用可能）
  • 入力電力：1,200 w
  • 出力電力:: 12 v、および30 a最大電流。推奨動作電流＆lt; 30 a
  • 電源ケーブルはプラグなしで付属

温度制御およびヒーター
Thermal Evaporating System

各容量3 mlの4つのアルミナ蒸着るつぼ。 4つのソースを同時に使用することはできません。多層堆積は1つずつ行われます。
  • アルミナるつぼの底部に熱電対付きのタングステンコイルヒーターが組み込まれています（温度制御用（写真1）。寸法については左の写真を参照してください）
  • 標準sタイプ熱電対（付属および設置済み）-200ºc〜1500ºcからの加熱（写真2）
  • オプションのbタイプ熱電対（追加料金）-1200ºc〜1700ºcからの加熱
  • 30個のプログラム可能なセグメントと+/- 1ºcの精度を備えた1つのデジタル温度コントローラー（図3）
  • 温度コントローラーの時間設定は秒単位です。温度の加熱/冷却速度を1200ºc未満では0.3ºc/ s（または20ºc/ min）に制限し、1200〜1700ºcでは0.15ºc/ s（または10ºc/ min）に制限することを推奨します。
  • 1300ºCを超える連続加熱の場合、底部フランジOリングの寿命を維持するために、動作時間を1時間未満に制限してください
  • カーボンコーティングに必要な最大2000°cの高速コーティングでは、ユーザーは熱電対、アルミナサーマルブロック、アルミナcr堝を取り外し、蒸発材料をタングステンコイルヒーターに直接ロードし、現在の手動制御モードを使用できます（図4 ）
  • 4個のアルミナるつぼ（最大1700ºc）と2個のタングステンコイルヒーターが含まれています。スペアパーツの注文については、オプションのセクションを参照してください
  • Thermal Evaporating System

回転式サンプルホルダー
Thermal Evaporating System

  • 直径50 mm回転可能なサンプルステージとそのシャッターは上部フランジに取り付けられています。
  • 回転速度：5 rpm
  • サンプルホルダーから蒸発源までの距離は40 mmから85 mmまで調整可能

膜厚分析システム（オプション）

精密薄膜＆amp;コーティング分析システム-eq-tfms-ldは追加料金で利用できます。



真空

  • 真空ポンプに接続するためにkf25真空ポートが取り付けられています
  • オプションのターボ分子ポンプで一晩排気することにより、最高真空が1e-5 torrに達する可能性があります
  • コーティングには真空ポンプが必要です。次の製品オプションから選択してください
    • 金、銀、有機材料などの貴金属材料を蒸発させるために最大1.0e-2 torrの真空に達する可能性のあるオイルミストを排除する蒸気トラップ付きのダブルステージ回転羽根真空ポンプ。
  • Thermal Evaporating System

ガス入口

  • チャンバーパージまたはフォーミングガス処理用に1/4チューブフィッティングが組み込まれています
  • ガス流量を制御するために1つのニードルバルブが組み込まれています

オプショナル

  • 追加のアルミナるつぼおよびタングステンコイルヒーターは追加コストでtmaxで注文可能

全体寸法

Thermal Evaporating System

石英チャンバー寸法

外径：280mm（11 "）
i.d .: 260mm（10.2 "）
長さ：310mm（12.2 "）

コンプライアンス

  • ce証明書

保証

  • 生涯サポート付きの1年間の限定保証

正味重量

  • 80キロ

出荷重量＆amp;寸法

  • 200ポンド、40 "x 30" x 32 "

アプリケーションノート

  • 一部の材料の蒸発に必要な高真空を実現するために、ユーザーは
    • チャンバー、Oリング、フランジに粒子、繊維、傷がないか確認します。イソプロピルアルコール（ipa）で湿らせた糸くずの出ないティッシュで表面を拭いてください
    • ヒーターテープを使用して、チャンバーを150ºCで焼き、コイルヒーターとるつぼを500ºCで予熱し、オプションのターボポンプで2時間以上排気する
    • 1.0e-5 torrを超える真空が必要な場合は、加熱せずに一晩チャンバーを排気します
  • 加熱プログラムを開始したり、密閉されたチャンバーと真空なしで手動で電流を増加させないでください！
  • コーターが蒸発運転中に真空を解除したり、排気を停止したりしないでください！ヒーターの冷却中は、温度が100ºCを下回ったときにのみ、排気を停止するか、真空を解除してください。




Thermal Evaporating System









パッケージ：

1つの標準輸出パッケージ：内部衝突防止保護、外部輸出木箱包装。

2最適な方法を見つけるために顧客の要件に応じて、速達便、航空便、海上輸送

3配送プロセス中の損傷の責任は、無料であなたのために損傷した部分を変更します。

納期 ： 注文を確認してから15-20日後、詳細な納期は

生産シーズンと注文数量。





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