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温度制御が付いている真空の熱蒸発のコーティングのコーター機械

温度制御が付いている真空の熱蒸発のコーティングのコーター機械

温度制御が付いている真空の熱蒸発のコーティングのコーター機械

  • :

    GSL-1700X-SPC-2
  • MOQ :

    1
  • :

    20 days
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • 電子メール :

    [email protected]

温度制御が付いている真空の熱蒸発のコーティングのコーター機械



gsl-1700x-spc-2は、精密でプログラム可能な温度制御を備えたコンパクトな熱蒸着コーターで、200°Cから1500°C(または200°C - 1700°C)までの2インチサイズまでのほとんどの金属および有機材料フィルムのコーティングに適しています。均一なフィルムコーティングを可能にするために、回転可能なサンプルホルダーが組み込まれています(オプションのb型熱電対を使用)。

仕様:

構造& A特徴
Hi-Vacuum Thermal Evaporating Coater

  • 簡単な洗浄とサンプルローディングのための6 "od x 10" hクォーツチャンバー
  • 均一なフィルムコーティングのための2 "直径回転可能なサンプルホルダー
  • 1700ºCまでの高温コーティング用のタングステンコイルヒーターとアルミナるつぼ
  • 30個のプログラム可能なセグメントと+/-1ºcの精度で精密な温度制御
  • 高真空はオプションのターボポンプで1.0e-5 torrまで達成可能
  • ガスフローポートとバルブはチャンバーのパージとcvdの可能性のために内蔵されています

入力電源

  • 入力電圧:208 - 240 Vac 50/60 Hz、単相
  • 入力パワー:500ワット
  • 出力電力:40最大電流。推奨作業電流< 20 a
  • 電源ケーブルはプラグなしで付属

温度制御ヒーター
Hi-Vacuum Thermal Evaporating Coater

熱電対付きタングステンコイルヒーターはアルミナるつぼの底部に内蔵されています(温度制御用(写真1)。寸法については左の写真を参照してください。
  • 標準のsタイプ熱電対(付属品および設置済み) - 200°C - 1500°Cの加熱(写真2)
  • オプションのb型熱電対(追加料金) - 1200℃から1700℃まで加熱
  • 30個のプログラム可能なセグメントと+/- 1℃の精度を備えた1つのデジタル温度コントローラー(写真3)
  • 温度コントローラの時間設定は秒単位です。温度の加熱/冷却速度を1200℃以下で0.3℃/秒(または20℃/分)に制限し、1200〜1700℃で0.15℃/秒(または10℃/分)に制限することをお勧めします。
  • 1300を超える連続加熱用 ºc、ボトムフランジOリングの寿命を維持するために、操作時間を1時間未満に制限してください
  • カーボンコーティングで必要とされるような2000℃までの速いコーティングのために、ユーザーは熱電対、アルミナサーマルブロック、そしてアルミナるつぼを取り除き、蒸発材料を直接タングステンコイルヒーターにロードし、そして現在の手動制御モードを使うことができます。 )
  • 4つのアルミナるつぼ(最高1700ºc)と2つのタングステンコイルヒーターが含まれています。スペアパーツの注文については、オプションのセクションを参照してください。

Hi-Vacuum Thermal Evaporating Coater

サンプルホルダー
Hi-Vacuum Thermal Evaporating Coater

  • 直径50 mmのもの回転可能な試料台とそのシャッターは上部フランジに取り付けられています。
  • 回転速度:5 rpm
  • サンプルホルダーから蒸発源までの距離は40 mmから85 mmまで調整可能

膜厚モニター(オプション)

精密石英厚さセンサー オプションです。それはチャンバー内に組み込まれ、0.10Åの精度で瞬時の膜厚モニタリングを提供します。部屋の外の導かれた表示装置はできます:

    • 含まれているデータベースに基づいて入力コーティング材料情報
    • 総コーティング厚さとコーティング速度を表示
  • 精度 薄膜& Aコーティング分析システム - eq-tfms-ld 追加料金で利用可能です

Hi-Vacuum Thermal Evaporating Coater

真空
Hi-Vacuum Thermal Evaporating Coater

  • kf25真空ポートは真空ポンプに接続するために設置されています
  • 最高真空度は、オプションのターボ分子ポンプで一晩排気することで、<4.0e-6 torrに達することがあります。
  • コーティングには真空ポンプが必要です。以下の製品オプションから選択してください
    • 真空ポンプはありません。 耐腐食性静電容量ダイヤフラムゲージ 1.0e-6 torrまでの真空用
    • 金、銀、有機物などの貴金属材料を蒸発させるために1.0e-2トルまでの真空に達することができるオイルミストを除去するための蒸気トラップを備えた二段式ロータリーベーン真空ポンプ。
    • Hi-Vacuum Thermal Evaporating Coater

ガス導入口

  • チャンバーパージまたはフォーミングガス処理用に1/4チューブ継手が内蔵されています
  • ガス流量を制御するために1つのニードルバルブが内蔵

オプション

  • 追加の アルミナるつぼ そして タングステンコイルヒーター 追加料金でtmaxで注文できます。
  • 全部で4つの蒸発源るつぼを使用して、同じチャンバ雰囲気内で多層を1つずつ成長させるために複数の異なる材料を堆積させることができる。

全体寸法


Hi-Vacuum Thermal Evaporating Coater

クォーツチャンバー寸法


外径:165mm
内径:150 mm
長さ:250ミリメートル

コンプライアンス

  • ce証明書

保証

  • 1年間限定保証付き 生涯サポート

正味重量

  • 50キロ

配送重量と寸法

  • 130ポンド、40 "×30"×32 "

アプリケーションノート


  • いくつかの材料の蒸発に必要な高真空を達成するために、ユーザーはすることができます
    • チャンバー、Oリング、フランジに異物、繊維、傷がないことを確認します。表面をきれいに拭くためにイソプロピルアルコール(ipa)で湿らせた糸くずの出ないティッシュペーパーを使用する
    • ヒーターテープを使用してチャンバーを150℃でベーキングし、オプションのターボポンプでポンピングしながらコイルヒーターとるつぼを500℃で少なくとも2時間予熱します。
    • 1.0e-5トル以上の真空が必要な場合は、加熱せずに一晩チャンバーを排気する
  • コーターは、湿度の熱蒸発のためにarまたはn 2ガスグローブボックスに入れることができる。リチウム金属などの酸素感受性材料。
  • 密閉されたチャンバーと真空なしで加熱プログラムを始めたり、手動で電流を上げたりしないでください。
  • コーターが蒸発運転中の場合は、真空を解除したりポンピングを停止したりしないでください。ヒーターが冷えている間は、温度が100°C以下に下がったときだけ、排気を停止するか真空を解除してください。






DC Magnetron Sputtering









パッケージ:

1標準輸出パッケージ:内部衝突防止保護、外部輸出木製ボックス包装。

最も適切な方法を見つけるために顧客の要求に応じて海によって、速達による2出荷。

輸送過程の間の損害に対して責任がある3は、無料であなたのために損害を受けた部分を変えます。

納期 順序を確認した後15-20日、細部配達日はに従って決定されるべきです

製造シーズンと発注数量